MEMS · 半導体 · ナノ加工

日本発 ピュアプレイ
ファウンドリサービス

スモールロットのプロトタイプから量産まで、イノベーションを加速します

日本の精密加工技術を、世界へ。基板からダイシング済みチップまで一貫対応。

1–5枚
最低ウェーハ枚数
4週間
平均ターンアラウンド
15+
プロセス技術
300mm
最大シリコンウェーハ径
550×650mm
最大ガラス・フィルム基板
完全な製造プロセスポートフォリオ
エンドツーエンドの加工フロー

基板調達・マスク設計から前工程・後工程・最終組立まで、すべての工程を専任エンジニアチームが一貫して担当します。各工程をクリックすると、仕様と図面をご覧いただけます。

半導体コアプロセス
基板・
ウェーハ
Si, ガラス, SiC, GaN
2〜12インチ + パネル550×650mm
設計・
マスク
GDS, DXF, Cr
CADデータ変換 · クロムマスク · メタルマスク
フォト
リソグラフィ
20nm〜4µm
e-beam · KrF · マスクアライナー · ガラスパネル
薄膜
成膜
PVD, CVD, ALD
金属 · 誘電体 · 圧電体
電気
めっき
Cu, Ni, Au, Sn
ウェーハレベル · 電鋳 · LIGA
エッチング
DRIE, ICP-RIE, ウェット
DRIEボッシュ AR35:1 · KOH/TMAH
イオン
注入
Si, SiC, GaN
広範囲ドーパント · RTA 1800°Cまで
CMP・
研削
平坦化
ウェーハ薄型化 · 表面前処理
ダイシング・
パッケージング
ブレード、レーザー、ステルス
個別チップパッケージング · キャリアマウント
先端パッケージング・集積
ウェーハ
ボンディング
Cu-Cu, 共晶
ハイブリッド · アノーディック · ±1µmアライメント
TSV
製造
高AR, Cu充填
ボイドフリーCu · DRIE · CMP露出
TGV
製造
径10µm, パネル対応
ホウケイ酸ガラス · 溶融シリカ · 730×920mm
RDL
製造
ファンイン, ファンアウト
FOWLP · Cuダマシン · ポリマーパッシベーション
パッケー
ジング
ダイボンド, ワイヤボンド
ダイシング・
パッケージング
ブレード、レーザー、ステルス
なぜ株式会社ナノシステムズJPか
ピュアプレイファウンドリの優位性
🔒

IP完全保護

自社製品を持たないため、お客様の技術が競合することは一切ありません。設計の最初の段階からNDA締結が可能です。

🏭

フルスタック一貫加工

基板調達からダイシング済みチップまで、すべての工程を一施設で実施。外部ベンダーなし、1社完結。

🔬

スモールロット対応

最低1〜5枚のウェーハから対応。最低発注数量のハードルはありません。R&Dから量産まで柔軟に対応します。

🌏

グローバルアクセス

英語・日本語対応の技術営業チームが担当。クリーンルームパッケージで世界中へ追跡可能な発送。

完全な3D統合フロー -
DRIEからバンプ形成ウェーハまで

TSV/TGVおよび先端パッケージングプロセスは、3D IC統合・ガラス貫通ビアインターポーザ・MEMS-CMOSスタッキングに対応する完全な加工シーケンスを一括提供します。

1
DRIEビアエッチング、高アスペクト比シリコンビア形成
2
熱酸化 + TiN/Cuバリア・シード成膜
3
Cu電気めっき + 約400°Cアニール
4
50µmまで裏面研削 + ドライエッチによるTSV露出
5
SiN/SiO₂ CMP平坦化、プロセス対応面完成
6
RDL形成 + UBM成膜 + C4バンプ形成
応用分野
対応する用途
🧬

ライフサイエンス・診断

マイクロ流体チップ、ラボオンチップ、バイオセンサー、DNA解析基板、埋め込み型MEMS。

📡

RF・通信

GaAs/GaN HEMT、RF MEMSスイッチ、SAW/BAWフィルター、5Gコンポーネント。

🤖

ロボティクス・自動化

MEMS加速度センサー、ジャイロスコープ、圧力センサー、触覚センサー。

🔋

エネルギー・パワー

SiC/GaNパワーデバイス、エネルギーハーベスティングMEMS、太陽電池テスト構造。

🔭

フォトニクス・イメージング

シリコンフォトニクス、LiDAR、光MEMS、赤外線検出器、メタレンズ製造。

🚗

自動車・航空宇宙

高信頼MEMSセンサー、圧力トランスデューサー、慣性計測ユニット(IMU)。

お取引の流れ
お問い合わせからチップ納品まで

ご利用の手順

STEP 01

お問い合わせを送る

プロジェクト概要・プロセス要件・基板・ウェーハサイズ・数量・スケジュールをメールでお送りください。GDS/DXFファイルはこの段階では不要です。

STEP 02

技術審査・見積もり

プロセスエンジニアが設計の互換性と実現可能性を審査します。プロセス仕様・スケジュール・価格を含む詳細見積もりを7〜10営業日以内にご提供します。

STEP 03

NDA・発注確認

プロセストラベラーとウェーハ仕様を確認します。ご希望の場合はこの段階でNDAを締結します。発注後、製造スケジュールを調整し着工します。

STEP 04

製造・品質管理

定期的な進捗報告のもと全工程を実施します。CD-SEM・光学検査・電気試験によりウェーハを検査し、完全な検査報告書を提供します。

STEP 05

ダイシング・パッケージング

ご指定仕様に合わせてウェーハをダイシングします。個別チップのパッケージングまたはキャリア基板へのマウントを行います。

STEP 06

世界中へ納品

クリーンルームパッケージで、追跡可能な国際配送にてお届けします。プロセスの複雑さにより異なりますが、標準リードタイムは問い合わせから納品まで4〜8週間です。

プロジェクトを開始しましょう。
1営業日以内にご返信いたします。

プロセス要件・基板・生産数量をお知らせください。ナノシステムズJPのエンジニアが1営業日以内にご返信いたします。詳細見積もりは通常7〜10営業日以内(プロジェクト複雑さ・NDA要件による)。

sales@nanosystemsjp.co.jp · +81-3-5288-5569 · NDA対応可 · 7〜10営業日以内に詳細見積もり · 全データ厳重管理

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