1msで展開するエアバッグ用加速度センサーから、98%効率でトラクションモーターを駆動するSiCインバーターまで、半導体加工の精度が自動車の安全性とパフォーマンスを直接決定します。
安全：エアバッグ・衝突検知
エアバッグシステムはMEMS加速度センサーを使用して1ミリ秒以内に衝突イベントを検知し、インフレーターを起動します。センサーは通常の走行振動に耐えながら40gの衝撃を確実に検知する必要があります。MEMS加工パラメータ（プルーフマス形状・バネ剛性・空気減衰ギャップ）がg感度と帯域幅を直接決定します。当社のDRIEエッチングは、自動車グレードのクラッシュセンシングに必要な精密なプルーフマス形状を実現します。
安定性：VDC・ADAS
車両ダイナミクス制御（VDC）と先進運転支援システムは、3軸加速度センサーと3軸ジャイロスコープ（IMU）を使用して毎秒1000回車両の動きを計測します。温度によるドリフトとオフセットが主要な信頼性課題であり、MEMSレゾネーター周波数と静電ギャップの厳密なプロセス制御が必要です。当社のイオン注入、DRIE、ウェーハボンディングサービスが自動車IMUに必要な精密なデバイスパラメータを提供します。
認識：MEMS LiDAR
自動車LiDAR向けソリッドステートMEMSスキャニングミラーは、コンパクトなウェーハスケールMEMSデバイスで大型の回転型LiDARユニットを置き換え、高速でシーンにレーザービームを向けます。ミラーの平坦度、共振周波数、スキャン角度がMEMS形状によって制御されます。当社の深いDRIE、ウェーハボンディング、気密パッケージングサービスが高Q MEMS LiDAR性能に必要なミラー構造と真空キャビティを実現します。
パワートレイン：SiC・GaNインバーター
SiC MOSFETを使用したEVトラクションインバーターは10〜100kHzで98%以上の効率でスイッチングし、シリコンIGBTと比較して小型の冷却システムと長いEV航続距離を実現します。SiC製造は要求が厳しい：Arガス中での1400〜1800℃のAlおよびNイオン注入、ゲート酸化物品質向けカーボンキャップアニール、オーミックコンタクトシンタリング。当社の専用SiCプロセスフローが基板前処理からメタライゼーションまで完全なデバイスシーケンスを対応します。
環境：圧力・ガスセンサー
自動車圧力センサーはマニホールド空気圧・タイヤ空気圧（TPMS）・燃料レール圧・排気背圧を計測します。DRIEエッチング深さで制御されるMEMSメンブレン厚さが圧力範囲を設定します。吸気マニホールド（0〜100 kPa）向け薄いメンブレン、燃料レール（0〜200 bar）向け厚いメンブレン。排気後処理制御向け金属酸化物薄膜・電気化学セルを使用したガスセンサー（NOx、CO、O₂）。
快適性：MEMSマイクロフォン
音声制御・アクティブノイズキャンセリング・緊急コール（eCall）システム向け自動車キャビンマイクロフォンは、エレクトレットマイクロフォンの代わりにMEMSトランスデューサーを使用し、より良いSNR・小型化・自動車温度範囲（-40〜+125℃）での高い信頼性を実現します。MEMSマイクロフォン製造はバックプレート・メンブレンDRIEと平坦な周波数応答のための精密エアギャップ制御を使用します。