原子物理を脇に置けば、MEMS蒸気セルは光学窓付きの接合キャビティです。まさに当社のマイクロ流体・接合ラインが毎週生産している構造です。役割分担は正直に：ボディは当社、アルカリはお客様。充填と最終封止は種・バッファガス・封止方式に結びついた物理チームの工程であり、そのチームを止めているのは、その手前のすべて - 数百個の同一で清浄な、良く接合されたキャビティ - です。それはウェーハ製造であり、このページが売るものです。
セル体積・接続チャネル・充填ポート・リザーバポケットはDRIE形状です：最大50:1アスペクト比の垂直壁、リソグラフィで決まる寸法、ウェーハあたり数百個の同一キャビティ。傾斜壁が光路に有利な場合はウェットKOHプロファイルも選択でき、すべてのキャビティが隣とリソグラフィ公差内で揃います。
ガラス窓 - シリコンボディ - ガラス窓：標準的なセルは2回の接合であり、どちらも当社ボンディングサービスの領域です。定番のホウケイ酸-Si気密接合には陽極接合を、温度やスタックが求めるなら接着接合を、金属シールが指定されるなら共晶フレームを。すべてのセルの窓とキャビティが一致するよう、ウェーハペアをアライメントして。
ヒーター・電界電極・アパーチャ・遮光マスクは、接合前に光学アクセスフローで窓へパターニングされます。ゲッターポケット・充填チャネル・ブレーカブルシールは、お客様のレイアウトどおりシリコンに現れます。ボディは機能を組み込んだ状態で届くので、お客様のラインに残るのは物理だけです：充填・封止・評価。
分解スタック、それが成る接合済み未充填ボディ、そしてプログラムが注文できる4つのフォーマット。
プログラムはこのフローに異なる地点から入ります。以下の4フォーマットはすべて同一レシピ上の標準納品物です。フォーマット間の移行は再設計ではなく、発注書1枚です。キャビティ寸法・ポートレイアウト・窓パターンはお客様の図面に従います。
接合を自前で行うチームのためのDRIEキャビティウェーハ単体：キャビティ・チャネル・ポートをエッチング・洗浄済みで、お客様のガラスを待つだけの状態で。
第1窓に接合したボディ、第2面はお客様の充填方式のために開放。ロードロック充填・ピペット充填のチームが求めるフォーマットです。
フルサンドイッチ。お客様の充填ポートとチャネル以外は封止済みで、お客様のラインでのバックフィルと最終閉止を待つ状態。旗艦フォーマットです。
上記いずれのフォーマットも、単一セルまたは小アレイへダイシング。エッジと窓を保護し、光学部品として梱包して。
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| ボディ材料 | シリコン・DRIEエッチング - KOHプロファイル選択可 |
| 窓 | ホウケイ酸ガラス標準 - 溶融石英・サファイアはプログラムごと |
| キャビティ形状 | 図面どおり - DRIEアスペクト比50:1まで - チャネル・ポート・リザーバ |
| ウェーハサイズ | 4インチ（100mm）· 6インチ（150mm）· 8インチ（200mm） |
| 接合 | 陽極・接着・共晶 - 片面または両面スタック |
| 窓機能 | ヒーター・電極・アパーチャ・遮光マスク - 接合前にパターニング |
| 充填プロビジョン | 充填ポート・チャネル・ゲッターポケットをレイアウトどおり - 未充填で納品 |
| 充填 & 封止 | お客様のラインで - またはプログラムごとに調整 |
| フォーマット | エッチング済みウェーハ · 開放ハーフ · 接合済み未充填ボディ · ダイシング済みセル |
| 検査 | キャビティ計測と接合検査が標準 - 追加はリクエストで |
| 最低ロット | 1ペアから - 同一レシピで量産バッチまで |
光ポンピング磁力計のためのセルボディ。生体磁気イメージングから地球物理まで、チャネルあたりのセル数が、ウェーハレベルバッチ製造を唯一成立する経済性にします。
MEMSセルの原点アプリケーション：バッファガス対応体積とヒーターパターン窓を持つ小型キャビティ。CSACプログラムが標準化したフローの上で。
核スピンジャイロスコープ・NMRベースセンサーのセル。キャビティの対称性と壁品質が、ガラス細工ではなくリソグラフィから直接来る世界です。
リュードベリ原子電場計測・RFセンシングのための蒸気セル。電極パターン窓が、原子のいる場所そのものに電界を置きます。
レーザー安定化・分光のための小型リファレンスセル。バッチ一貫性により、製品ラインのすべての装置が同じセルを見ます。
セル開発のための単一ウェーハペア：1枚のウェーハ上にキャビティスプリット・ポートバリエーション・窓オプション。半期分のガラス細工が1回のファブランになります。
数百個の清浄で同一の、良く接合されたキャビティはファブの問題であり、当社マイクロ流体ラインが日常的に解いている問題です。
ボディを、未充填で。お客様の種・バッファガス・封止物理はお客様のもの。必要であれば充填はプログラムごとに調整します。
エッチング済みウェーハからダイシング済みセルまで同じマスクの上で。プログラムはどこからでも入り、再設計なしでスケールできます。
ヒーター・電極・アパーチャは、隣の光学アクセスフローを通じて、すでにガラスに載った状態で届きます。
このセグメントは実製品を出荷しています。だからフローは、ヒーローウェーハではなく固定レシピのリピートバッチのために組まれています。
エッチング・接合・パターニング・ダイシングが1本のスレッドとして、専任プロジェクトマネージャーのもとで進行します。
キャビティ寸法・窓仕様・フォーマット・数量をお知らせください。エンジニアが24時間以内にご返信いたします。