光学基板への高精度微細パターニング
このサービスを定義する能力は3つあり、いずれもすでにお客様の部品として出荷されています。光学部品メーカーは美しいブランクを供給しますがリソグラフィを持たず、ほとんどのファブは0.5mmの溶融石英ディスクに触れようとしません。当社の溶融石英ウェーハプログラムとフルリソグラフィがそのギャップを閉じます。
パターニング済みウィンドウ：両面対応
Ti/Au電極・コンタクトパッド・アライメントフィデューシャル・遮光フィールドマスクを、溶融石英・サファイアのウィンドウに直接パターニング。片面または両面、表裏アライメント付きで。Ti/Au on 溶融石英は出荷済み。研磨・±10µm厚さ公差・精密グレードでのTTV 5µm未満は、ウィンドウの切り出し元である溶融石英ウェーハプログラムから来ます。
アパーチャ & 微細メッシュ
透明基板上のリフトオフによる金属アパーチャ・ビーム定義ストップ・周期メッシュ。サファイア上に納品した1.3µm貫通孔アルミメッシュまで。孔径・ピッチ・充填率はお客様の光学設計どおり、Al・Ti/Auほか蒸着可能な金属で、パターンはフィデューシャルに位置決めして。
孔・キャビティ・接合ボディ
ビームアクセスと充填ポートのための未充填TGVガラス貫通孔、シリコンのDRIEキャビティ、そして陽極・接着・共晶接合によるSi-ガラススタック。セル・チャンバー・窓付きハウジングの構成要素です。コーティング（当社フォトニクスフローのSiO₂/TiO₂ ARスタックを含む）はプログラムごとに調整します。
注釈付きパターニングウィンドウ
対応する部品構成を1枚の図で：表の電極、裏のアパーチャ、ガラス貫通孔、そしてインセットに1.3µm級のメッシュ。
完全な光学アクセスパラメータ
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| 基板 | 溶融石英・サファイア・ホウケイ酸ガラス・ボディ用Si（その他はリクエストで） |
| フォーマット | ウェーハ4〜8インチ：チップスケール矩形・ディスクは図面対応 |
| 金属 | Ti/Au・Al・Crほか蒸着可能なシステム：リフトオフパターニング |
| フィーチャーサイズ | メッシュ孔 ~1µm級から（1.3µm出荷済み）- アパーチャ・パッドは設計どおり |
| 面 | 片面または両面：表裏アライメント |
| 厚さ / 平坦度 | 厚さ公差±10µm：精密グレード溶融石英でTTV 5µm未満 |
| 貫通孔 | ガラス / 溶融石英の未充填TGV・Ø20µm級標準：Cu充填はオプション |
| 接合 | 陽極・接着・共晶のSi-ガラススタック：開放ハーフまたは接合ボディ |
| コーティング | AR（SiO₂/TiO₂級）・機能コーティングをプログラムごとに調整 |
| 納品形態 | 完成部品：パターニング・カット・検査・光学梱包済み |
| 最低ロット | 1個・1枚から：同一レシピでリピートロット |
量子・精密センシングにわたる光学アクセス
蒸気セル・真空セルウィンドウ
アルカリ蒸気セル・小型真空チャンバーのためのパターニング済みウィンドウと接合ボディ。セル内部近傍に電界形成用電極が必要な場合には、ガラス窓上への電極パターニングにも対応します。
トラップ & ビーム光学
イオン・原子ハードウェアのレーザーパスを定義し導き入れるアパーチャ・ビームストップ・貫通孔。電気パターンと同じフィデューシャルに位置決めして。
フィールドメッシュ & グリッド
光透過性を維持しながら電界形成や電磁シールドが必要な用途のための、透明基板上の微細導電メッシュ。出荷済みの1.3µmサファイアメッシュがまさにこの部品です。
分光 & 分析
装置のための窓付きフローセル・パターニング済みリファレンスアパーチャ・チャンバー付き光学系。当社マイクロ流体ラインと同じSi-ガラス接合を活用します。
小型・フィールド展開センサー
OPM・時計・展開型センサーのための小型化光学アセンブリ。量産に到達するには、すべての部品が手作りではなくバッチ製造でなければなりません。
ワンオフ実験部品
ウィンドウ、メッシュ、接合チャンバーは、単品から、概略図や初期仕様の段階でもご相談いただけます。研究開発用の単品・少量特殊部品にも対応します。
当社の光学アクセス能力が異なる理由
推測ではなく出荷実績
Ti/Au溶融石英ウィンドウと1.3µmサファイアメッシュは納品済みの部品です。このページは、すでに納品実績のある能力を記述しています。
光学とリソグラフィを1つの注文で
基板・研磨グレード・パターン・孔・接合・ダイシングを1つの部品番号で。光学部品メーカーとファブの間のギャップを閉じます。
両面を規律として
表裏アライメントはここでは日常です。電極とアパーチャのペアは、光学設計が置いた場所に着地します。
透明基板はホームグラウンド
溶融石英・サファイア・ガラスはこのサービスの定番基板であり、光学の期待水準でハンドリング・洗浄・梱包されます。
関連工程も一括対応
TGV孔・シールリング・蒸気セルボディ・極低温メタライゼーションが隣接ページに。1つのプログラムがアセンブリ全体をカバーします。
正直に、1個から
単品・少量から見積もり・製作に対応し、リピートロットは正確に同じレシピを継承します。
プロジェクトを開始しましょう。
通常1営業日以内にご連絡します。
部品ファミリー・基板・パターン・面数・数量をお知らせください。エンジニアが通常1営業日以内にご連絡します。