このサービスを定義する能力は3つあり、いずれもすでにお客様の部品として出荷されています。光学ハウスは美しいブランクを供給しますがリソグラフィを持たず、ほとんどのファブは0.5mmの溶融石英ディスクに触れようとしません。当社の溶融石英ウェーハプログラムとフルリソグラフィがそのギャップを閉じます。
Ti/Au電極・コンタクトパッド・アライメントフィデューシャル・遮光フィールドマスクを、溶融石英・サファイアのウィンドウに直接パターニング。片面または両面、表裏アライメント付きで。Ti/Au on 溶融石英は出荷済み。研磨・±10µm厚さ公差・精密グレードでのTTV 5µm未満は、ウィンドウの切り出し元である溶融石英ウェーハプログラムから来ます。
透明基板上のリフトオフによる金属アパーチャ・ビーム定義ストップ・周期メッシュ。サファイア上に納品した1.3µm貫通孔アルミメッシュまで。孔径・ピッチ・充填率はお客様の光学設計どおり、Al・Ti/Auほか蒸着可能な金属で、パターンはフィデューシャルに位置決めして。
ビームアクセスと充填ポートのための未充填TGVガラス貫通孔、シリコンのDRIEキャビティ、そして陽極・接着・共晶接合によるSi-ガラススタック。セル・チャンバー・窓付きハウジングの構成要素です。コーティング - 当社フォトニクスフローのSiO₂/TiO₂ ARスタックを含む - はプログラムごとに調整します。
このページが売る部品を1枚の図で：表の電極、裏のアパーチャ、ガラス貫通孔、そしてインセットに1.3µm級のメッシュ。
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| 基板 | 溶融石英・サファイア・ホウケイ酸ガラス・ボディ用Si（その他はリクエストで） |
| フォーマット | ウェーハ4〜8インチ - チップスケール矩形・ディスクは図面対応 |
| 金属 | Ti/Au・Al・Crほか蒸着可能なシステム - リフトオフパターニング |
| フィーチャーサイズ | メッシュ孔 ~1µm級から（1.3µm出荷済み）- アパーチャ・パッドは設計どおり |
| 面 | 片面または両面 - 表裏アライメント |
| 厚さ / 平坦度 | 厚さ公差±10µm - 精密グレード溶融石英でTTV 5µm未満 |
| 貫通孔 | ガラス / 溶融石英の未充填TGV・Ø20µm級標準 - Cu充填はオプション |
| 接合 | 陽極・接着・共晶のSi-ガラススタック - 開放ハーフまたは接合ボディ |
| コーティング | AR（SiO₂/TiO₂級）・機能コーティングをプログラムごとに調整 |
| 納品形態 | 完成部品：パターニング・カット・検査・光学梱包済み |
| 最低ロット | 1個・1枚から - 同一レシピでリピートロット |
アルカリ蒸気セル・小型真空チャンバーのためのパターニング済みウィンドウと接合ボディ。物理がフィールドプレートを体積のすぐそばに求めるときの、電極付きガラス。
イオン・原子ハードウェアのレーザーパスを定義し導き入れるアパーチャ・ビームストップ・貫通孔。電気パターンと同じフィデューシャルに位置決めして。
視界と電界・シールドが共存しなければならない場所のための、透明基板上の微細導電メッシュ。出荷済みの1.3µmサファイアメッシュがまさにこの部品です。
装置のための窓付きフローセル・パターニング済みリファレンスアパーチャ・チャンバー付き光学系。当社マイクロ流体ラインと同じSi-ガラス接合を活用します。
OPM・時計・展開型センサーのための小型化光学アセンブリ。量産に到達するには、すべての部品が手作りではなくバッチ製造でなければなりません。
スケッチと電話一本から、単一のウィンドウ・メッシュ・接合チャンバーを。それがなければ博士課程が半期止まる類の部品です。
Ti/Au溶融石英ウィンドウと1.3µmサファイアメッシュは納品済みの部品です。このページは、ラインがすでに走っているレーンを記述しています。
基板・研磨グレード・パターン・孔・接合・ダイシングを1つの部品番号で。光学ハウスとファブの間のギャップを閉じます。
表裏アライメントはここでは日常です。電極とアパーチャのペアは、光学設計が置いた場所に着地します。
溶融石英・サファイア・ガラスは毎日このラインを流れ、光学の期待水準でハンドリング・洗浄・梱包されます。
TGV孔・シールリング・蒸気セルボディ・極低温メタライゼーションが隣接ページに。1つのプログラムがアセンブリ全体をカバーします。
単一部品を量産注文の説教なしに見積・製作し、リピートロットは正確に同じレシピを継承します。
部品ファミリー・基板・パターン・面数・数量をお知らせください。エンジニアが24時間以内にご返信いたします。