製作対象
パッケージの都合ではなく、必要な場所にセンサーを
模式図。RTDは4端子測定用の端子、熱電対は基準接点処理を要する2端子を示します。素子形状と金属系は基板と温度範囲に応じて選定します。
01
白金RTD
0 °Cで100 Ωまたは1,000 Ωを目標とする蛇行素子。安定した温度係数のためのアニール。シリコン、ガラス、AlN上。
02
NiCr・合金RTD
組込みセンシングとヒーターフィードバック向けの低コスト素子。同一チップ上でヒーターと同時製作。
04
集積
パッシベーション、コンタクトオーバーレイ、はんだ付け可能パッド、ダイシング。ヒーターチップ、マイクロチャネル構造、お客様のデバイスフローへの組込み。
概要
薄膜温度センサー 製作
対応範囲と仕様の選択肢です。各値は案件ごとに見積書で確定します。
Pt100／Pt1000
公称抵抗値の選択肢
20 µm
線幅 から
膜構成による
使用温度範囲（膜・基板・コンタクトで決定）
1枚
最低 発注数量
Pt・NiCr RTD
薄膜熱電対
Si・ガラス・AlN・ポリイミド
リフトオフパターニング
パッシベーション付き
1枚から
仕様
対応範囲の目安
センサー性能は基板、膜、アニールに依存します。何をどう測定するかは見積書に明記します。
| 項目 | 目安・条件 | 備考 |
|---|---|---|
| 基板 | 酸化膜付きSi、ガラス、溶融石英、AlN、ポリイミドフィルム | その他はご相談 |
| RTD金属 | Pt（スパッタまたは蒸着）、NiCr、Ni | 密着層は基板に応じて |
| 熱電対ペア | Sb/Bi、Cu/コンスタンタン系、Pt/Pt-Rh、NiCr/Ni | ゼーベック応答は取り決めにより評価 |
| 線幅 | リフトオフで20 µm以上。それ以下はご相談 | 蛇行設計は抵抗値に応じて |
| 膜厚 | 100 nm〜1 µm | 抵抗と安定性に合わせて設定 |
| 抵抗値 | Pt100、Pt1000、またはカスタム | 公差とトリミングは案件ごと |
| パッシベーション | SiO₂、SiN、Al₂O₃。フレキシブル部品にはポリイミド | 任意 |
| 電気検査 | 明示した基準温度における抵抗値を全素子で測定 | その条件での電気的な値であり、温度応答曲線ではありません |
| 温度特性評価・校正 | 事前に合意した条件で実施：範囲、測定点、基準器・測定方法、不確かさ、ドリフト・ヒステリシス確認 | 報告内容を見積書に明記 |
プログラムの進め方
図面から特性評価済みセンサーまで
工程の流れ
- 01センサーの定義種類、範囲、抵抗値、基板、コンタクト配置。
- 02レイアウト素子とパッドの形状。確認・承認用のGDSデータをご提出します。
- 03製作成膜とリフトオフ、アニール、パッシベーション、コンタクト。
- 04特性評価素子ごとの抵抗。取り決めにより多点応答。
- 05納品ダイシング済みまたはウェーハで、データと識別付き。
送っていただきたい情報
センサーのお見積りのために
| 項目 | あると助かる情報 |
|---|---|
| センサー | RTDまたは熱電対、目標抵抗またはペア、使用温度範囲 |
| 基板 | 材料、サイズ、支給の有無 |
| レイアウト | 素子位置、パッド位置、接続方法 |
| 環境 | 薬品曝露、サイクル、パッシベーションの要否 |
| 特性評価 | 必要な範囲、測定点、基準方法、報告内容。RTDの結線方式（2・3・4端子）、熱電対の基準接点の扱い |
よくあるご質問
発注前に確認されることの多い質問
センサーの校正は行いますか？
全素子を明示した基準温度で電気検査します。温度特性評価・校正は別途見積もり、測定点、基準方法、報告内容を事前に取り決めます。
自社の基板上に製作できますか？
はい。表面と熱バジェットを確認のうえ、シリコン、ガラス、溶融石英、AlN、ポリイミドフィルムに対応します。
どの金属を選ぶべきですか？
安定性と標準的なPt100／Pt1000特性には白金、組込み低コストセンシングにはNiCr、接点測定やアレイには薄膜熱電対。
プロジェクトを開始しましょう。
1営業日以内を目安にご連絡いたします。
プロセス要件・基板・生産数量をお知らせください。株式会社ナノシステムズJPのエンジニアが1営業日以内を目安にご連絡いたします。詳細見積もりは通常7〜10営業日以内。
このプロセスについてご相談ですか？
1営業日以内に技術担当者が対応。NDA締結も可能です。