ガラスウェーハ
加工サービス
ガラスへの穴、キャビティ、パターン、金属：ホウケイ酸、溶融石英、結晶石英、ULE、無アルカリガラスを、ウェーハ、パネル、窓材、クーポンの形態で。レーザー・超音波穴あけ、ウェット・ドライエッチング、研磨、薄膜パターニング、接合を1枚から。
から
範囲
500×600 mm
発注数量
構造、表面、膜
模式断面図。穴形状、深さ、表面粗さはガラス種類ごとに確認します。
貫通ガラスビア・穴
レーザー誘起エッチングとレーザー・超音波穴あけによる20 µmビアからmm級ポートまで。ストレート、テーパー、円錐形状。ウェーハ全面のアレイにも対応。TGV参照。
キャビティ・流路
溶融石英とホウケイ酸のHF系ウェットエッチとドライエッチによるマイクロ流路、光学リセス、キャビティ。エッチング参照。
研磨・薄化
ウェーハ、窓材、クーポンの両面研磨、薄化、端面仕上げ。粗さと平坦度を報告。
金属・ITOパターニング
リフトオフと金属膜のパターニングエッチングによるメタライゼーション。片面または両面のITO、Au、Ti/Auパターンと表裏重ね合わせ。
接合
ガラス-シリコン陽極接合、ガラス-ガラス直接接合・接着剤接合。陽極接合MEMSキャップウェーハ参照。
特殊ガラス
ULEなどの低膨張ガラス、2 mmまでの厚基板、レーザー窓材、光学平面を専用治具で取り扱い。
ガラスウェーハ 加工サービス
対応範囲と仕様の選択肢です。各値は案件ごとに見積書で確定します。
対応範囲の目安
ガラスの組成と厚さに依存します。お客様の部品に対する値は見積書に明記します。
| 項目 | 目安・条件 | 備考 |
|---|---|---|
| ガラス種類 | ホウケイ酸、無アルカリ、溶融石英、結晶石英、ULE、透明導電膜付きガラス | お客様支給ガラスは評価のうえ対応 |
| 厚さ | 100 µm〜2 mm | それ以上はご相談 |
| ビア | 20 µm以上。アスペクト比は充填で約10:1、中空で約20:1 | 形状は方法による |
| エッチング | 数百µmまでのキャビティにウェットHF。微細形状にドライエッチ | マスクは深さに応じて |
| 研磨 | 粗さと平坦度は仕様に応じて | ロットごとに測定 |
| パターニング | ライン／スペース1 µmから。両面重ね合わせ約5 µm | 溶融石英窓材の実績 |
| 形態 | 小片、300 mmまでのウェーハ、500×600 mmまでのパネル | 工程による |
ガラスのお見積りのために
| 項目 | あると助かる情報 |
|---|---|
| ガラス | 種類とグレード、厚さ、形態とサイズ、支給の有無 |
| 形状 | 寸法入り図面：穴、キャビティ、パターン、公差 |
| 表面 | 粗さと平坦度の要件、重要な面 |
| 後工程 | 後続の接合、メタライゼーション、コーティング |
| 数量 | 数量と希望納期 |
発注前に確認されることの多い質問
支給のガラスにコーティングできますか？
はい。組成と状態を確認のうえ、ウェーハ、パネル、窓材、クーポンとして加工します。
対応するガラスの種類は？
ホウケイ酸、無アルカリ、溶融石英、結晶石英、ULE、透明導電膜付きガラス。その他はご相談。
窓材1枚だけの穴あけは可能ですか？
はい。1枚から、レーザーまたは超音波でストレート、テーパー、円錐形状の穴あけを行います。
プロジェクトを開始しましょう。
1営業日以内を目安にご連絡いたします。
プロセス要件・基板・生産数量をお知らせください。株式会社ナノシステムズJPのエンジニアが1営業日以内を目安にご連絡いたします。詳細見積もりは通常7〜10営業日以内。