先端パッケージング
シリコン・ガラス
インターポーザ試作
2.5D集積、フォトニクス、センサー読み出し向けの貫通ビアインターポーザ。TSVまたはTGV、片面または両面の再配線、UBMとバンプ。ウェーハまたはダイシング品で納品します。GDSをお送りいただければ、ロット投入前に製造性レビューを行います。
Si／ガラス
コア
材料
材料
5／20 µm
ビア径（Si／ガラス）
ルート検討のうえ
ルート検討のうえ
2 + 2*
RDL層数（表面＋裏面）
*設計により増層可
*設計により増層可
4〜12インチ
ウェーハ
形態
形態
納品内容
ビアからバンプまで一つのプログラムで
インターポーザは、それぞれ専用ページのある複数工程の組み合わせです。このページはそれらをまとめる場所です。
模式断面図。ビアピッチ、配線層数、バンプ形態は設計ごとに決定します。
概要
シリコン・ガラス インターポーザ試作
対応範囲と仕様の選択肢です。各値は案件ごとに見積書で確定します。
Si／ガラス
コア 材料
5／20 µm
ビア径（Si／ガラス、ルート検討のうえ）
2 + 2*
RDL層数（表面＋裏面、*設計により増層可）
4〜12インチ
ウェーハ 形態
TSVまたはTGV
表裏RDL
UBM・バンプ
まずGDSレビュー
1枚から
ウェーハ／個片
対応範囲
代表的な設計範囲
日常的に見積もる範囲です。限界に近い組み合わせはレイアウト上で検討します。
| 項目 | シリコン | ガラス |
|---|---|---|
| ビア径 | 5〜50 µm 標準 | 20 µm以上。50〜100 µmは標準 |
| 基板厚 | 薄化後100〜400 µm。厚基板は約1.5 mmまで | 300 µm〜1 mm |
| ビアピッチ | 径の2倍から（レイアウトによる） | 径の2倍から |
| ビア充填 | Cu全充填。抜き取り断面でボイドなしを確認 | ライニング（中空）または充填 |
| RDL | 各面2層を標準とし、設計により増層可。ダマシンまたはセミアディティブCu | メタライズガラス上に各面2層を標準とし、設計により増層可 |
| ライン／スペース | ダマシン2/2 µm、セミアディティブ5/5 µm | 5/5 µm以上 |
| 形態 | 100〜300 mmウェーハ | 100〜200 mmウェーハ。パネルはご相談 |
プログラムの進め方
GDSレビューからダイシング品まで
工程の流れ
- 01製造性レビュービア径・ピッチ、キープアウト、RDLルール、パッド開口を上記範囲と照合し、マークアップ付きの報告と確認事項をお返しします。
- 02テストビークルまたはダミーロット新規レイアウトでは、ビアとデイジーチェーンの短いロットで充填、リビール、RDLを確認してから本設計を流します。
- 03ビア形成と充填DRIEまたはガラスビア形成、ライナーとバリア、シードとCu充填、CMP。
- 04再配線表面RDL、必要に応じ仮接着と薄化、リビール、裏面RDL。
- 05終端処理と個片化UBMとバンプ、設計されている場合はデイジーチェーンの電気試験、ダイサイズへのダイシング。
- 06納品ウェーハまたは識別済み個片と、見積書に定めた検査データ。
送っていただきたい情報
製造性レビューのために
| 項目 | あると助かる情報 |
|---|---|
| GDS | レイヤーマップ付きの全レイヤー。ダイサイズとウェーハあたりの個数 |
| 積層構成 | コア材料と厚さ、面ごとのRDL層数、誘電体の希望、パッド仕上げ |
| ビア・RDLルール | ビア径とピッチ、最小ライン／スペース、キープアウト |
| 電気評価 | 導通・抵抗・絶縁用のデイジーチェーンや評価構造 |
| 数量と段階 | ダミーロット、試作、パイロット。ウェーハまたは個片納品。希望納期 |
よくあるご質問
発注前に確認されることの多い質問
発注前にGDSをレビューしてもらえますか？
はい。ビア径・ピッチ、キープアウト、RDLルール、パッド開口を確認し、見積前にマークアップ付きの報告をお返しします。
シリコンとガラスのどちらを選ぶべきですか？
微細ビアピッチとダマシンRDLにはシリコン、RF、フォトニクス、低損失用途にはガラス。同一ページで両方を見積もります。
ダイシング済みインターポーザで納品できますか？
はい。見積書で取り決めた検査データ付きの識別済み個片で納品します。
プロジェクトを開始しましょう。
通常1営業日以内にご連絡します。
プロセス要件・基板・生産数量をお知らせください。株式会社ナノシステムズJPのエンジニアが通常1営業日以内にご連絡します。正式なお見積書は、必要な情報の受領および事前に必要なNDAの締結後、通常7〜10営業日以内にご提出します。
このプロセスについてご相談ですか？
通常1営業日以内に技術担当者が対応。NDA締結も可能です。