ウェーハ洗浄
ピラニア洗浄・SC-1・SC-2
・RCA洗浄受託
標準的なウェット洗浄をお客様のウェーハに受託で実施します：有機物・レジスト残渣にピラニア洗浄（硫酸過水）、パーティクルにSC-1、金属汚染にSC-2、自然酸化膜にHF、エピ・酸化・接合・メタライゼーション前にRCA洗浄一式。材料とウェーハ上の既存膜に応じて選定します。
2〜12インチ
ウェーハ
径
径
4
標準浴：
ピラニア・SC-1・SC-2・HF
ピラニア・SC-1・SC-2・HF
ロット単位
パーティクル・残渣確認
取り決めにより
取り決めにより
1枚
最低
発注数量
発注数量
各洗浄の役割
4つの薬液、4つの役割
ウェット洗浄はすべて、除去するものと侵すものとのトレードオフです。下表はその要約で、ロット前のレビューで各薬液とお客様の膜・構造との適合を確認します。
代表的なシーケンスの模式図。順序と使用する薬液は受入時の汚染と既存膜に応じて決まり、すべてのウェーハに全工程が必要なわけではありません。
| 洗浄 | 薬液 | 除去対象 | 注意点 |
|---|---|---|---|
| ピラニア洗浄 | H₂SO₄ : H₂O₂、加熱 | 有機物、レジスト・ポリマー残渣。薄い化学酸化膜が残る | 多くの金属とポリマーを侵す。Al、Cu、残すべきレジスト構造が露出したウェーハには不可 |
| SC-1（APM） | NH₄OH : H₂O₂ : H₂O | 軽い酸化膜エッチとリフトオフによるパーティクルと軽い有機物 | 過処理でシリコンの緩慢なエッチと表面荒れ。露出Alには不可 |
| SC-2（HPM） | HCl : H₂O₂ : H₂O | 金属・イオン汚染 | 穏やか。通常SC-1の後 |
| HF・BOE | 希釈HF | 自然酸化膜・化学酸化膜。水素終端表面が残る | SiO₂膜を除去し酸化膜をアンダーカット。時間管理が重要 |
| RCA洗浄一式 | SC-1、HF、SC-2の順 | 酸化・エピ・接合前の標準 | 順序とHF工程は表面ごとに選定 |
概要
ピラニア洗浄・SC-1・SC-2 ・RCA洗浄受託
対応範囲と仕様の選択肢です。各値は案件ごとに見積書で確定します。
2〜12インチ
ウェーハ 径
4
標準浴： ピラニア・SC-1・SC-2・HF
ロット単位
パーティクル・残渣確認 取り決めにより
1枚
最低 発注数量
ピラニア（H₂SO₄:H₂O₂）
SC-1・SC-2・RCA
HF・BOE
Si・SiC・サファイア・ガラス
接合前・エピ前
1枚から
対応範囲
洗浄対象と確認方法
| 項目 | 目安・条件 | 備考 |
|---|---|---|
| 材料 | Si、SOI、SiC、サファイア、ガラス、溶融石英、石英。適合する薬液でGaAs・InP | III-Vとメタライズ済みウェーハは薬液ごとに検討 |
| ウェーハサイズ | 2〜12インチ。小片・クーポン | カセットまたは枚葉処理 |
| 用途 | レジスト・残渣除去、エピ前、酸化前、接合前、メタライゼーション前、フッ素・有機汚染除去 | シーケンスは用途ごと |
| 乾燥 | 表面と構造に応じてスピンリンス乾燥、IPA、マランゴニ | リリース済みMEMSは超臨界乾燥 |
| 確認 | パーティクル数、水接触角、光学検査。XPS、TXRF、EDXは取り決めにより | 基準は見積書に明記 |
| 納期 | 少量ロットは受入後通常数日 | 見積書で確定 |
プログラムの進め方
受入ウェーハから確認済み表面まで
工程の流れ
- 01確認材料、既存膜、汚染の種類、残すべきもの、後工程。
- 02シーケンス薬液、順序、時間、乾燥の選定。特殊な積層はクーポンで試験。
- 03洗浄取り決めた順序でのウェット処理と管理されたリンス・乾燥。
- 04確認基準に従いパーティクル、接触角、残渣を検査。分析は取り決めにより。
- 05納品清浄カセットまたは枚葉キャリアで納品。
よくあるご質問
発注前に確認されることの多い質問
金属が付いたウェーハをピラニア洗浄できますか？
通常はできません。ピラニアは多くの金属を侵します。露出膜を確認し、金属を残す必要がある場合はSC-1、溶剤、プラズマのルートを選びます。
SiCやサファイアも洗浄できますか？
はい。いずれも化学的に堅牢なため、RCA一式とピラニアのシーケンスが使えます。検討対象は基板ではなく、膜と汚染です。
見積りに必要な情報は？
材料、サイズ、数量、既存の膜と構造、除去したい汚染、後工程、必要な清浄度の基準。
プロジェクトを開始しましょう。
1営業日以内を目安にご連絡いたします。
プロセス要件・基板・生産数量をお知らせください。株式会社ナノシステムズJPのエンジニアが1営業日以内を目安にご連絡いたします。詳細見積もりは通常7〜10営業日以内。
このプロセスについてご相談ですか？
1営業日以内に技術担当者が対応。NDA締結も可能です。